耐高溫晶圓鑷子又叫做精密鑷子,導(dǎo)靜電鑷子,簡稱PEEK,具有耐高溫,耐磨損性,耐化學(xué)品腐蝕、阻燃、等諸多顯著優(yōu)勢。
A.(Rubis晶圓鑷子)可在250℃下長期使用,在高溫下能保持較高的強(qiáng)度,尺寸穩(wěn)定性較好,線脹系數(shù)較小,非常接近于金屬鋁材料;
B.Rubis晶西鑷子具有突出的摩擦學(xué)特性,而捐動(dòng)磨損和微動(dòng)磨損性能優(yōu)異,尤其是能在250℃C下保持高的耐磨性和低的摩擦系數(shù),因此,夾取晶圓,硅片的時(shí)候,不會(huì)對晶圓,硅片的表面產(chǎn)生劃痕,不會(huì)因摩擦而對晶圓,硅片產(chǎn)生殘留物,從而提高了晶圓,硅片的表面潔凈度。
C.而化學(xué)藥品性強(qiáng),在通常的化學(xué)藥品中,只有9%的濃暗酸能容解或者破壞它,它的耐魔蝕性與鎳鋼相近,同時(shí)其自身具有阻燃性,在火焰條件下釋放煙和有毒氣體少,抗輻射能力強(qiáng);
由于具有以上諸多顯著優(yōu)勢使得其在半導(dǎo)體,光伏,微電子,航空航天、汽車制造、醫(yī)療等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。